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为了满足客户1》反面切割Wafer 2》上下两片Wafer Bonder,对位Bond Line 3》Wafer Bumping后，看Marking Mismatch的需求，我公司设计完工了上下齐焦显微镜，并申请了。

1. 特殊的Wafer Holder 静电吸附台，防wafer Wapage，并能满足上下齐焦的要求

2. 特殊的平台特征点设计，方便操作使用

3. 影像合成精度在10um以内

4. 放大倍率在20-150X