1、品名：12寸硅片厚度测试仪 2、用途：测量硅片厚度尺寸 3、工作原理：该仪器由传感器的侧头接触所需测量硅片表面,经测量模块传输至 IBR 显示器，人工读取测量值,连接电脑，电脑数据读取，可生成各种表格。 7、技术参数  适合硅片：5’,6’ ,8’, 12”  硅片厚度：50-1000um  分辨率: 0.1um  重复性精度：0.2um  系统精度:+/-0.15 um  测量力: 0.7g  收张行程: 5mm  大理石平板精度: 00 级  设备尺寸：600*600*600mm