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地址：江苏省无锡新区菱湖大道111号软件园天鹅座C座17层（无锡）
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QQ：954165837 |
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| YCT高精度多功能晶圆量测仪MFM-3000A |
高精度多功能晶圆量测仪MFM-3000A
光学检测:
- 高速/非接觸光學量測
- 奈米深度3D檢測
- 表面形貌/粗糙度分析
- 非透明材質/透明材質形貌分析
- 1μm透明膜厚度量測
- 多層膜厚度量測
- 總厚度量測
  
| 表面輪廓掃描模組 |
1.量測點大小隨著遠離焦面而變大。
公式:D=(A+L*tan(R))*2
單位:μm
D為離焦束徑大小,A為量測焦點半徑,L離焦距離,R=1.29°
2.此規格量測產品為標準片於標準實驗室,如果環境干擾或產品本身汙損,缺角,不均勻…等異常則會造成量測值變異。
3.工作距離與物鏡工作距離有關。
4.橫向解析度與光源波長有關。
5.干涉物鏡搭配1.0X鏡筒倍率的視野範圍。
*所有規格如有變更，恕不另行通知。 |
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量測軟體 |
iScan3D |
| 光源 |
白光LED |
| 光源中心波長 |
550
nm |
| 奈米掃描模組 |
0.001~100
μm |
| 深度量測範圍 |
(400
μm選配) |
| 奈米掃描模組 |
≦0.1
% (量測高度: >10 μm) |
| 重複精度² |
≦10
nm (量測高度: 1~10 μm) |
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≦5
nm (量測高度: <1 μm) |
| 微米掃描模組深度量測範圍 |
0.1~2000
μm |
| 微米掃描模組重複精度² |
0.1
μm |
| 多層膜測厚模組 |
單層薄膜量測模組 |
NT040-sensor
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量測軟體 |
iProbe |
FTM-sensor
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量測軟體 |
iProbe |
| 量測總厚度 |
15~1000
μm |
量測厚度 |
1~50
μm |
| 量測焦點大小¹ |
40 μm |
量測焦點大小¹ |
40 μm |
| 工作距離 |
39±1
mm |
工作距離 |
25±1
mm |
| 光源中心波長 |
0.85
μm |
光源中心波長 |
550
nm |
| 空間解析度 |
5.3
μm |
空間解析度 |
0.5
μm |
| 量測解析度 |
0.35
μm |
量測解析度 |
0.3
μm |
| 單層重複精度² |
±0.01×
單層厚度(單層厚度>50 μm) |
重複精度² |
±0.25μm |
| (Dummy試片) |
±0.5
(單層厚度≦50 μm) |
——无锡世迈科技检测系统解决方案——
无锡世迈科技为您提供奥林巴斯工业显微镜设备及配件，适应新产品、新工艺需求的设备。
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