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晶圆搬送及自动检测系统 AL120-WM
升级奥林巴斯AL120拥有符合E142的晶圆图
优点
针对奥林巴斯晶圆搬送机AL120和MX系列显微镜的无缝整合
适合不同检查方式的可编程电动工作台
图形化的用户操作界面，可编辑的晶圆图及不良产品代码登记
系统
全自动晶圆编码读取系统
自动聚焦及晶圆校正系统
符合SEMI E142的晶圆图系统
SECSII/GEMS 标准的通讯协议
邮箱：sally_sheng@smatech.com.cn
针对奥林巴斯晶圆搬送机AL120和MX系列显微镜的无缝整合
适合不同检查方式的可编程电动工作台
图形化的用户操作界面，可编辑的晶圆图及不良产品代码登记
全自动晶圆编码读取系统
自动聚焦及晶圆校正系统
符合SEMI E142的晶圆图系统
SECSII/GEMS 标准的通讯协议
