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晶圆（切割后）检查机SI系列
升级奥林巴斯显微镜拥有符合E142晶圆图的自动搬运系统
优点
针对奥林巴斯MX和BXFM系列显微镜的无缝整合
针对铁圈料盒的自动搬运系统,适用于16英寸即440毫米晶圆铁圈的可编程电动工作台
图形化的用户操作界面，可编辑的晶圆图及不良产品代码登记系统
使用RFID系统甄别料盒并且自动读取晶圆编码
自动打墨点装置
符合SEMI E142的晶圆图系统
SECSII/GEMS 标准的通讯协议
针对奥林巴斯MX和BXFM系列显微镜的无缝整合 
针对铁圈料盒的自动搬运系统,适用于16英寸
图形化的用户操作界面，可编辑的晶圆图及不良产品代码登记系统
使用RFID系统甄别料盒并且自动读取晶圆编码
自动打墨点装置
符合SEMI E142的晶圆图系统
SECSII/GEMS 标准的通讯协议
