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AXSYS 三光机检查系统(桌面型) VS100
产品概要

三光机检查系统(桌面型)  VS100   

针对框架图(strip map)系统特殊设计 




特点

  • 键合完检查的框架图系统包含对应产品图的下载,产品检查,信息更新及上传服务器。  
  • 可编程电动工作台可应对310毫米 X 110毫米的高密度引线框架或基板
  • 桌面型的紧凑设计更适于目前的半导体封装生产线的工作环境
  • 与奥林巴斯显微镜系统的无缝连接
  • 符合SEMI G81和E142的框架图系统平台
  • 框架图是缺陷追踪系统的因素 
  • 紧凑的桌面型设计更适于目前的无尘室的使用要求
  • 适用于高密度引线框架/基板的电动工作台



外观检查,重点是检查结果如何追踪到每一粒晶圆。 针对下一代的无墨点生产系统,集成电路设计得越来越复杂,尺寸更小,密度更大,质量要求也更高。


在提供显微镜观察的同时,VS100可以提供虚拟的框架图显示于屏幕,代表引线框架或基板的实际形状。


VS100采用可编程电动工作台,可以根据不同的高密度引线框架或基板的检查要求编辑不同的运行模式。


二维码系统用于框架的识别以及对应的框架图从服务器导入及更新。 




视觉检查 -  体式显微镜(奥林巴斯)  





检查结果记录 – 框架图(缺陷管理系统) 








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