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仪景通Evident金相显微镜BX53M
产品概要

 

BX3M系列采用了模块化设计,为材料学和工业应用提供了多样化的解决方案。BX3M增强了与仪景通Stream软件的集成性,从而为常规显微镜检查和数码成像用户提供了从观察到报告创建的无缝工作流程。


适且便于使用

易于操作:简单的照明器

照明器的设计减少了显微镜操作过程中所必须的复杂操作。 照明器前端的旋钮使用户能够轻松地改变观察方法。操作者可以在反射光显微镜检查时快速切换较常用的观察方法,比如从明场观察到暗场观察,到偏光观察,以随时改变不同类型的分析。此外,可以旋转检偏镜来实现简单偏光观察的调节。

操作者能够在经常使用的观察方法之间快速切换(AlSi的抛光态样品)


直观的显微镜控制:视场光阑和孔径光阑的简单设置

使用正确的孔径光阑和视场光阑设置能够获得良好的图像对比度,还可以充分利用物镜的数值孔径。指示标志可引导用户根据观察方法和所用物镜进行正确的设置。


快速找到焦点:对焦刻度标尺

机架上的对焦刻度标尺可以让操作者快速锁定焦点。操作者不用通过目镜查看样品就可以大致地对准焦点,从而在检查有不同高度的样品时节省了时间。


一致的照明:智能光强管理

在初始设定时,可以调节照明强度,使其与编码照明器和/或编码物镜转换器的特定硬件配置匹配。

传统的光强

传统显微镜中,提高了放大倍率,以及使用需要更多光线的观察方法后,图像会变得更暗。

智能光强管理

改变放大倍率或观察方法时,显微镜自动调节光强到正确值。


方便而人性化的操作

人性化设计对所有用户都重要。无论是单机显微镜用户,还是集成了仪景通Stream图像分析软件的显微镜系统用户,都可以清晰显示显微镜编码型硬件位置的人性化操作设计的手动控制器。简单的手动开关让用户能够专注于样品和检查工作本身。

用于旋转电动物镜转换器的手动开关

手动控制器

曝光按钮



可恢复显微镜设置:编码硬件

BX3M采用了编码功能,将显微镜的硬件设置与仪景通Stream图像分析软件整合在一起。观察方法、照明强度和物镜位置全都记录在软件和/或手动控制器里。编码功能可实现显微镜设置与每幅图像一起自动保存,从而可轻松完成此后的还原设置,以及为报表提供文档记录。既节省了操作者的时间,又减小了使用不正确设置的概率。当前的观察设置总是清晰地显示在手动控制器和软件上。

操作步骤 操作者A 操作者B
不同的操作者使用不同的设置
易于验证正确的设置

使观察设置保持同步

尽管操作者不同,但设置相同

MIX观察:让未见变为可见

BX3M的MIX观察技术组合了明场和暗场照明方法。MIX照明滑块中的LED光源,以定向暗场光线照射样品。这种方式类似于传统暗场照明,但又可为LED的不同角度光线照射提供四分象限选择功能。这种定向暗场与明场、荧光、或偏光的组合称为MIX照明,有助于显示缺陷和区分隆起与凹陷表面。


柔性印制电路板和不锈钢


即时MIA:轻松移动载物台即可进行全景拍摄

现在不需要电动载物台,仅仅移动手动载物台上XY旋钮即可方便而快捷地拼接图像。仪景通Stream软件采用图案识别技术来生成全景图像,为用户提供了视野。

一枚硬币的即时MIA图像。


EFI:创建景深图像

仪景通Stream软件的景深扩展成像(EFI)功能能够获取高度超过物镜焦深的样品图像,把通过不同焦面的图像叠加在一起,创建出一幅景深图像。可以使用手动或电动Z轴机构来执行EFI,并可创建一幅高度图,以轻松地识别样品结构。也可以用Stream桌面版在离线时创建EFI图像。


HDR:同时捕捉高光和暗调区域的细节

高动态范围(HDR)使用了图像处理技术,能够针对一幅图像内的亮度差异进行调节,从而减少了眩光。HDR改善了数字图像的视觉效果,从而为用户制作报告时提供图像。

借助HDR功能,同时清晰呈现出高光和暗调区域的细节
(样品:燃油喷射器)

借助HDR功能,增强了对比度
(样品:镁切片)


可调整满足观察和分析的偏好要求

观察方法的选择范围宽广

反射光显微镜应用于各行各业。以下仅为一些通过不同观察方法获得的效果示例,如 明场(BF)、 暗场(DF)、微分干涉差(DIC)、偏光(PL)、荧光(FL)、红外(IR)、和透射光(TL)。


DF(示例: 表面贴装基板)


DIC(示例:球墨铸铁腐蚀检测)


PL(示例: 绢云母)


FL(示例: 半导体晶圆上的颗粒异物)


IR(示例:电极切片)


TL(示例: LCD彩色滤光片)


常规或基础测量功能

通过仪景通Stream软件可以实现多种测量功能,从而使用户可以很轻松地从图像中获取有用的数据。在质量控制和检查时常常需要对图像进行测量。所有测量结果都与图像文件一起保存,用于文件检索。


计数和测量

目标探测和尺寸分布测量,是数码图像中应用。Stream软件使用阈值分割方法进行目标探测,能够可靠地从背景中分离目标(比如颗粒、划痕)。


材料解决方案

仪景通Stream软件提供了基于工作流程的直观界面,可用于复杂的图像分析。点击按钮即可快速执行复杂的图像分析任务,并且符合很常用的工业标准。






3D测量

使用外部电动对焦机构时,可以快速获取EFI图像,并以3D视图显示。获取的高度数据可用于剖面上的3D测量,或通过单视图进行3D测量。

3D表面视图(粗糙度试验样品)

单视图和3D剖面测量


容纳各类样品

可以容纳更多的样品类型和尺寸

150×100mm载物台在X方向上提供了比以前的型号更大的行程。再加上其载物台板的平板式设计,可以轻松地将大样品,或多个样品放置在载物台上。载物台板上开有小孔,可用于固定样品架。更大的载物台为用户提供了灵活性,使他们能够在一台显微镜上检查更多的样品,从而节省了宝贵的实验室空间。可调节扭力的载物台方便了高倍下窄视野的微调定位。


样品高度和重量的高适应性

 BX53MRF-S

使用选配的模块组件可以将高105mm的样品放置在载物台 上。由于改进了调焦机构,因此显微镜可以容纳重6kg的总重量(样品+载物台)。这就意味着BX3M可以检查更大、更重的样品,从而减少了实验室内所需的显微镜数量。通过将用于6英寸晶圆的旋转托架放置在偏离中心的位置,在100mm行程范围内移动时,用户仅旋转晶圆托架即可观察整个晶圆表面。







样品尺寸大小的灵活性

BXFM

如果样品太大,难以放置在常规显微镜载物台上,则可以把用于反射光显微镜观察的核心光学部件组装到一个模块化的系统里。这种模块化系统,就是BXFM,它可以通过一个支撑杆安装在更大的支架上,或使用安装托架安装在另一台仪器上。







兼容ESD:保护电子装置,防止受到静电放电的影响

BX3M有ESD静电消除能力,防止电子装置受到由人为或环境因素而导致的静电的影响。


光学性能:波像差控制

使用显微镜进行研究或系统集成时,所有物镜的光学性能必须标准化。仪景通的UIS2物镜提供了波像差控制,减小了会降低分辨率的像差,从而获得数值孔径(NA)和工作距离(WD)性能指标。


稳定的色温和高强度白光LED照明

BX3M为反射光和透射光照明提供了高强度的白光LED光源。无论强度是多少,LED都保持着一致的色温。LED提供了高效而长寿命的照明,是材料学检测应用的工具。


通过卤素灯获得的高光强和低光强

通过LED获得的高光强和低光强

实现性能的品质

测量:自动校准

类似于数码显微镜,使用仪景通Stream软件时也能够实施自动校准。自动校准消除了校准过程中的人为变化因素,能够获得更可靠的测量结果。自动校准的算法采用多个测量点的平均值来自动计算正确的校准量。这就减小了不同操作者产生的差异,提高了定期验证的可靠性。






无缝拼接:图像阴影校正

可以用仪景通Stream软件完成阴影校正,以补偿图像角落四周的阴影。使用光强阈值设置时,阴影校正提供了分析。此外,使用MIA拼接图像时,可以获得更均匀的全景图像。



BX53M规格(用于反射和反射/透射光组合)

BX53MTRF-S

BX53MRF-S

BXFM

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)

显微镜机架

照明

反射/透射

反射

对焦

行程:25 mm 
每转的微调行程:100 μm 
刻度:1 μm 
配有上限限位器,用于粗调手柄的扭力调节

行程:30 mm 
每转的微调行程:200 μm 
刻度:2 μm 
配有用于粗调手柄的扭力调节

样品高度

35 mm (不含高度适配器) 
75 mm (带BX3M-ARMAD)

65 mm (不含高度适配器) 
105 mm (带BX3M-ARMAD)

取决于安装配置

观察筒

宽视野FN22

倒像:双目、三目、倾斜式双目 
正像:三目、倾斜式双目

超宽视野FN26.5

倒像:三目 
正像:三目、倾斜式三目

反射光照明

常规观察技术

BX3M-RLAS-S 
编码,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(带对中装置) 
BX3M-KMA-S 
白光LED,BF/DIC/POL/MIX FS,AS(带对中装置) 
BX3M-RLA-S 
100W/50W卤素灯,白光LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(带对中装置), 
BF/DF切换时中密度滤色片联动

-

U-KMAS 
白光LED,100W卤素灯 
光纤照明,BF/DIC/POL/MIX

荧光

BX3M-URAS-S 
编码,100W汞灯,4孔位分光镜组件转换器,(标准:WB, WG, WU+BF等) 
FS,AS(带对中装置),带光闸装置

透射光

白光LED 
阿贝/长工作距离聚光镜

-

物镜转换器

用于BF

六孔,对中六孔,七孔,编码五孔(选配电动物镜转换器)

用于BF/DF

六孔,五孔,对中五孔,编码五孔(选配电动物镜转换器)

载物台

同轴左手(右手)操作载物台: 
76mm×52mm,采用扭力调节 
大型同轴左手(右手)操作载物台: 
100mm×105mm,带Y轴锁定装置 
大型同轴右手操作载物台: 
150mm×100mm,带扭力调节和Y轴锁定装置

-

重量

大约18.3 kg 
(显微镜机架7.6 kg)

大约15.8 kg 
(显微镜机架7.4 kg)

大约11.1 kg 
(显微镜机架1.9 kg)

BX53M规格(用于红外观察)

BX53MRF-S

BXFM

IR观察筒

宽视野FN22

倒像:三目

反射光照明

IR观察

BX3M-RLA-S 
IR用100W/50W卤素灯,BF/IR,AS(带对中装置) 
BX3M-URAS-S 
IR用100W/50W卤素灯,BF/IR,AS(带对中装置)

U-KMAS 
IR用100W/50W卤素灯,BF/IR

物镜转换器

用于BF

六孔,对中六孔,七孔,编码五孔(选配电动物镜转换器)

Stage (X × Y)

同轴左手(右手)操作载物台: 
76mm×52mm,采用扭力调节 
大型同轴左手(右手)操作载物台: 
100mm×105mm,带Y轴锁定装置 
大型同轴右手操作载物台: 
150mm×100mm,带扭力调节和 
Y轴锁定装置

重量

大约18.9 kg(显微镜机架7.4 kg)

大约11.6 kg(显微镜机架1.9 kg)

BX53M规格(用于偏光观察)

BX53MTRF-S

偏光中间附件 
(U-CPA或U-OPA)

宽视野FN22

倒像:双目、三目、倾斜式双目 
正像:三目、倾斜式双目

勃氏镜

可对焦(仅适用于U-CPA)

勃氏镜视场光阑

直径Ø3.4mm(固定)(仅适用于U-CPA)

切换正像镜检和锥光镜检时加入或退出勃氏镜

滑块位置 ● 进入 
滑块位置 ○ 退出 
(仅适用于U-CPA)

检偏镜插槽

旋转式检偏镜插槽(U-AN360P-2)

检偏镜(U-AN360P-2)

可旋转360°的拨盘 
可旋转的小角度0.1°

对中式物镜转换器(U-P4RE)

四孔,附对中装置:1/4λ偏振片(U-TAD), 
试板(U-TP530) 和各种补色器均可连接补色器适配器(U-TAD)使用。

载物台(U-SRP)

带3点对中功能的偏光专用旋转载物 
可旋转360°,可锁定在任何位置,360°每刻度递增1° 
(分辨率6’,使用游标尺) 
45°锁定功能 
可安装移动标本夹(U-FMP)

聚光镜(U-POC-2)

消色差无应力聚光镜(U-POC-2),带外摆式消色差顶部透镜的可旋转360°起偏镜。 
“0°”刻度处的锁定机构可调节。 
NA0.9(顶部镜头内摆) 
NA0.18(顶部镜头外摆) 
孔径光阑:直径从2mm到21mm可调节

重量

大约16.2 kg(显微镜机架7.6 kg)

BX53M/BXFM ESD装置

部件

显微镜机架:BX53MRF-S, BX53MTRF-S 
照明器:BX3M-KMA-S, BX3M-RLA-S, BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S 
物镜转换器:U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD, U-D5BDREMC-ESD, U-5RES-ESD 
载物台:U-SIC4R2, U-SIC4L2, U-MSSP4

 



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