MX63和MX63L显微镜系统支持检测尺寸达300毫米的晶圆、平板显示器、印刷电路板以及其他样品的质量。这些符合人体工学设计的人性化系统采用模块化设计，可在各种应用中实现较优观察条件。结合仪景通Stream图像分析软件使用时，从观察到生成报告的整个检测流程更简洁直观。
满足电子行业需求
- 功能性：满足电子行业的人体工学和安全性要求而设计的附加功能以增强分析能力。
- 人性化：简洁的显微镜设置使用户调整和再调用系统配置变得更为轻松。
- 成熟的成像技术：我们成熟可靠的光学器件和成像技术可获得清晰图像，并完成可靠检测。
- 模块化：用户可通过选择适合其应用的模块进行系统定制。
分析工具
MX63系列的各种观察功能可生成清晰的图像，让用户能够对样品进行可靠的缺陷检测。全新照明技术以及仪景通Stream图像分析软件的图像采集选项为用户评估样品和存档检测结果提供更多选择。
从不可见到可见：MIX观察与采集
通过暗场与明场、荧光或偏光等其他观察方法结合使用，MIX观察技术能够获得特殊的观察图像。MIX观察技术可让用户发现用传统显微镜难以观察的缺陷。暗场观察所用的环形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗场功能。该功能可减少样品光晕，有助于观察样品的表面纹理。
轻松生成全景图像:即时MIA
利用多图像拼接(MIA)功能, 用户移动手动载物台上的XY旋钮即可轻松快速地完成图像拼接—电动载物台无需该操作。仪景通Stream软件利用图案识别生成全景图像，让用户获得更宽的视场。
生成全聚焦图像:EFI
仪景通Stream软件的扩展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范围的样品图像。EFI将这些图像堆叠在一起生成单幅全聚焦样品图像。EFI配合手动或电动Z轴载物台使用，可轻松生成结构可视化的高度图像。EFI图像可在仪景通Stream桌面软件内离线生成。
利用HDR采集明亮区域和暗光区域
利用成熟的图像处理技术，高动态范围(HDR)可在图像内调整亮度差异，以减少眩光。HDR改善了数字图像的视觉品质，从而有助于生成报告。
从基本测量到分析
测量对于品质、工艺控制和检测重要。基于这一想法，即便入门级仪景通Stream软件包也包括交互测量功能的全部菜单，并且所有测量结果与图像文件一起保存以便日后调用文档。此外，仪景通Stream材料解决方案可为复杂图像分析提供直观的工作流界面。点击按钮，图像分析任务即可快速完成。可大幅度缩减重复性任务的处理时间，使操作人员的精力集中在检测工作上。
高效的报告创建
创建报告所用的时间常常比采集图像和测量还长。仪景通Stream软件提供了直观的报告创建功能，能够根据预先设定的模板多次创建专业复杂的报告。编辑简单，报告可导出为MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，仪景通Stream报告功能能够对采集的图像进行数码变焦和倍率放大。报告文件大小适中，通过电子邮件进行数据传递更加方便。
独立相机选项
使用DP22或DP27显微镜相机的MX63系列是一套成熟的独立系统。该相机采用几乎不占空间的紧凑型控制盒控制，在采集清晰图像以及进行基本测量工作的同时让实验室空间得到充分利用。
支持洁净室合规性的设计
MX63系列专为洁净室工作而设计，并有效降低样品污染或受损的风险。该系统采用人体工学设计，可帮助用户在长时间使用中保持舒适。
选配晶圆自动搬送机 — AL120系统*
选配的晶圆自动搬送机可安装在MX63系列上，实现无需使用镊子或工具即可安全地将硅及复合半导体晶圆从晶圆匣运送到显微镜载物台上。良好的性能和可靠性能够安全、高效地对晶圆正面和背面进行宏观检测，同时搬送机还可帮助提高实验室工作效率。
*AL120系统未在欧洲上市。AL120系统设计用于要求EMC性能的工业环境。在住宅环境使用可能会影响到其他设备使用。
MX63系统与AL120晶圆自动搬送机结合使用(200毫米型号)
快速、清洁的检测
MX63系列可实现无污染的晶片检测。所有电动组件均安装在防护结构壳内，显微镜镜架、镜筒、呼吸防护罩、及其他部件均采用防静电处理。
电动物镜转换器的转速比手动物镜转换器更快更安全，缩短检测间隔时间的同时让操作人员的手保持在晶圆下方，避免了潜在的污染。
系统设计实现高效观察
利用内置离合和XY旋钮，能够实现对载物台运动的粗调和微调。即便针对诸如300毫米晶片这样的大尺寸样品，载物台也可帮助实现高效的观察。
倾斜观察镜筒的扩展范围可让操作人员以舒适的姿态坐在显微镜前工作。
适合所有晶圆尺寸
该系统可配合各类150–200毫米和200– 300毫米晶圆托架和玻璃台板使用。如果生产线上的晶圆尺寸发生变化，可更改载物台或镜架。有了MX63系列，各种载物台均可用于检测75毫米、100毫米、125 毫米和150毫米晶圆。
晶圆托架和玻璃台板
全面可定制
MX63系列设计用于让用户能够选择各种光学器件满足其特定的检测和应用需求。该系统可使用所有观察方法。用户还可从一系列的仪景通Stream图像分析软件包中进行选择，以满足其特定的图像采集和分析需求。
两个系统兼容多种样品规格
MX63系统能够检测尺寸达200毫米的晶圆，而MX63L更大可检测300毫米的晶圆，两款有相同的较小占用空间。MX63系列的模块化设计可轻松地根据您的需求定制显微镜。
MX63 MX63L
红外兼容性
红外观察可利用红外物镜实现，该物镜可用于透过硅材料成像让操作人员实现对封装和安装在印刷电路板上的集成电路芯片内部进行无损检测。5X到100X红外物镜可实现从可见光波长到近红外波长的色差校正。
红外物镜 常规图像 采用色差校正的图像
按您自己的要求打造仪景通系统
显微镜镜架
有两种显微镜镜架；一种可容纳200毫米的晶圆，另一种可容纳300毫米的晶圆。诸如聚焦辅助功能和呼吸防护罩等配件可提高您的检测效率。
镜筒
用于通过目镜观察图像或者利用相机进行观察，根据成像类型和操作者在观察过程中的姿势选择镜筒。
目镜
目镜可让用户通过显微镜进行直接观察。根据视场要求选择。
载物台
载物台和载物台板可用于放置样品；根据您样品的大小和形状进行选择。
光源
光源和电源用于为样品照明。根据观察方法选择适当的光源。
物镜转换器
安装物镜和滑块。根据所需的物镜数量及类型以及是否需要滑块选择物镜转换器
滑块
选择滑块弥补传统明场观察不足。DIC滑块可提供有关样品的形貌信息，并可选更大化对比度或分辨率。MIX滑块利用暗场路径上的分段LED光源实现照明灵活性。
