无锡世迈科技有限公司

OLS5000激光共焦显微镜可测量形貌和表面粗糙度。数据采集比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍，从而大大提高了生产效率。

	1.成像捕捉任意表面形貌。
	2.快速检测获得数据的速度比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍。
	3.便捷操作只需放好样品按下按钮即可。
	4.适用于大尺寸样品测量的大行程测量高达210毫米的样品。

高分辨率成像

凭借对各种类型样品进行3D测量的能力，系统可提供用于质量保证和工艺控制的数据。

横向分辨率

	405纳米紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜难以发现的纹理和缺陷。

	红光型（658纳米：0.26微米空间)	微米紫光型（405纳米：0.12线和空间)

一致的测量值

LEXT专用物镜可测量采用其他方式测量会发生畸变的周边区域。

一致的测量值

传统物镜

LEXT物镜

新开发的MEMS扫描振镜

新的MEMS扫描振镜具有较低的扫描轨迹失真和较小的光学像差，可进行X-Y扫描。

4K扫描技术

4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素，是奥林巴斯以前显微镜型号的四倍。
OLS5000显微镜可在无需进行图像校正的情况下检测几乎垂直的陡峭斜面以及低的台阶。

捕获真实形貌

由于传统激光显微镜采用诸如平滑消除噪声等标准图像处理技术，其有时会将测得的细微高度不规则测量数据连同噪声一起消除。
OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判别算法，可在不丢失细微高度不规则测量数据的情况下实现测量。

其他高分辨率测量技术

MEMS扫描PEAK算法
双共焦系统
Sq噪声（测量噪声）保证
准确性和重复性可保证
混合匹配算法
混合阻尼机构
HDR扫描

灵活：可测量尺寸较大的样品

可测量高210毫米的样品

OLS5000显微镜的扩展架可容纳达210毫米的样品，而长工作距离物镜能够测量深度达到25毫米的凹坑。
在进行这两种测量时，您只需将样品放在载物台上即可。

连杆

刀具

活塞头

LEXT用长工作距离物镜

奥林巴斯可提供能够针对405纳米激光减小像差的10x至100x系列物镜。本系列还包括低倍率和长工作距离物镜。所有LEXT专用物镜均可确保测量性能，由此可以选择适合您所观察样品的一款物镜。

Rubert & Co标准粗糙度样板528 (Pt = 1.5微米)

常规物镜（50X）

LEXT专用物镜（50X）

超长工作距离物镜

主机

型号		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
总倍率		54x - 17,280x
视场直径		16um - 5,120um
帧率（激光观察）[fps]		3.25 / 55.6
帧率 (彩色观察) [FPS]		30
测量原理	光学系统	反射式共焦激光扫描激光显微镜
		反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
		彩色
		彩色-DIC
	光接收元件	激光：光电倍增管（2ch）彩色：CMOS彩色相机
高度测量	显示分辨率	0.5纳米
	光栅尺	0.78纳米
	动态范围	16位
	可重复性σ 1 2 *5 n-1	5X：0.45μm, 10X：0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm
	正确性 1 3 *5	0.15+L/100微米(L:测量值[毫米]）
	拼接图像正确性 1 3 *5	10X：5.0 + L/100μm, 20X以上 : 1.0 + L/100μm （L: 测量长度[μm]）
	测量噪声（Sq噪声） 1 4 *5	1纳米
宽度测量	显示分辨率	1纳米
	可重复性 3σn-1 1 2 *5	5X：0.4μm, 10X：0.2μm, 20X：0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm
	精度 1 3 *5	测量值+/- 1.5％
	拼接图像精度 1 3 *5	10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度 [mm])
单次测量时测量点的数量		4096 x 4096像素
测量点的数量		3600万像素
XY载物台配置	长度测量模块	•	不适用	不适用	•	不适用
	工作范围	100×100毫米电动	100×100毫米手动	300 X300毫米电动	100×100毫米电动	100×100毫米手动
样品高度		100毫米	40毫米	37毫米	210 毫米	150毫米
激光光源	波长	405纳米
	输出	0.95毫瓦
	激光分类	2类（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
彩色光源		白光LED
电气功率		240瓦	240瓦	278瓦	240瓦	240瓦
质量	显微镜主体	约31公斤	约32公斤	约50公斤	约43公斤	约44公斤
	控制箱	约12公斤

* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证（温度：20˚C±1˚C, 湿度:50％±1％）。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物镜测量时超过20次。
* 3 在使用LEXT专用物镜测量时。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物镜测量时的典型值。
* 5 基于奥林巴斯认证体系保证。

物镜技术规格

系列	型号	数值孔径（NA）	工作距离（WD）（毫米）
UIS2物镜	MPLFLN2.5x	0.08	10.7
UIS2物镜	MPLFLN5x	0.15	20
LEXT专用物镜（10X）	MPLFLN10xLEXT	0.3	10.4
LEXT专用物镜（10X）	MPLAPON20xLEXT	0.6	1
LEXT专用物镜（高性能型)	MPLAPON50xLEXT	0.95	0.35
	MPLAPON100xLEXT	0.95	0.35
	LMPLFLN20xLEXT	0.45	6.5
LEXT专用物镜（长工作距离型）	LMPLFLN50xLEXT	0.6	5
	LMPLFLN100xLEXT	0.8	3.4
	SLMPLN20x	0.25	25
超长工作距离物镜	SLMPLN50x	0.35	18
	SLMPLN100x	0.6	7.6
	LCPLFLN20xLCD	0.45	8.3-7.4
适用于LCD透镜的长工作距离	LCPLFLN50xLCD	0.7	3.0-2.2
适用于LCD透镜的长工作距离	LCPLFLN100xLCD	0.85	1.2-0.9

应用软件

标准软件	OLS50-BSW	数据采集app 分析app (简单分析)
电动载物台套装应用*1	OLS50-S-MSP
扩展分析应用*2	OLS50-S-AA
薄膜厚度测量	OLS50-S-FT
自动边缘测量应用	OLS50-S-ED
颗粒物分析应用	OLS50-S-PA
多文件分析应用	OLS50-S-MA
球体/圆柱体表面角度分析应用	OLS50-S-SA