无锡世迈科技有限公司

来自于QVI集团的VIEW Precis 200是一款应用于晶圆、掩膜版、MEMs和HDD正面的测量系统。该款Precis结合了工作台、可靠的显微光学系统和可选的三款测量软件套装，为过程测量提供水平的能力.VIEW Precis在视野内实现了亚微米级测量，点间距测量精度可达0.65μm 双闭环伺服马达控制保证平稳的移动符合人体工程学的紧凑设计微焦点技术保证可重复聚焦的的运动

测量软件:

IEW Metrology Software (VMS)

选配： Elements 测量软件

选配： Measure-X 测量软件

选配软件模块:

• 区域多极聚焦

• SmartProﬁle 3D GD&T 评测软件

• 图像滤波，图像拼接，用户自定义界面

• VMS 离线工作站软件

• 数字 IO

特征

	标配	选配
X,Y,Z 行程(mm)	200 x 200 x 5	200 x 200 x 100
XY载物台	Hand crafted, precision lapped compound stage
Z轴	Micro Focus Block™ microﬂexure focus assembly	扩展Z轴运动，空气轴承运动和线性马达驱动
X,Y,Z刻度分辨率	0.01 μm
载物台驱动	X,Y轴连杆驱动直流伺服；Z轴旋转直流伺服
推荐负载	12 kg
成像光学	Olympus显微镜光学系统, 包含卧式明暗场照明器，五孔电动物镜转盘，带目镜倾斜三目观察筒和标准摄像机接口
前透镜（可现场更换）	10X明场物镜 50X长工作距离明场物镜	5X明场物镜或明暗场物镜 10X明场物镜或明暗场物镜 20X长工作距离明场物镜或明暗场物镜 50X长工作距离明场物镜或明暗场物镜 100X长工作距离明场物镜或明暗场物镜
测量相机	140万像素 (1392 x 1040), 1/2-inch, 数码, 黑白摄像机	200万像素(1628 x 1236), 数码,黑白摄像机
照明装置	全光谱、可调节卤钨同轴表面光	带N.A.调节绿色LED透射光
传感器选项		Integrated photo spectrometer for photoresist and thin film thickness measurements
操作系统	四核处理器， Windows ® 7 操作系统，集成网络和通信端口
控制器配件包	3轴操作杆控制手动载物台, 带急停按钮和开始按钮	单LCD 平板显示器, 键盘和鼠标双LCD 平板显示器, 键盘和鼠标
电源供应	115/230 VAC, 50/60 Hz, 1-Phase, 700W
额定环境	温度: 20°C ± 0.2°C 相对湿度: 30% - 80% 振动: ISO VC-B	振动: 使用150X物镜时ISO VC-C
X,Y线性精度1,2,3,4	E1: (0.25+2L/1000) µm
Z轴线性精度1,2,5	E1: (0.25) µm (使用100x物镜)
说明：所有参数均是在20°C恒温环境下得到	1. 温度变化率: 1° C/小时；2. 垂直温度梯度: 1° C/m 3. 在匀速状态下均匀分布载荷5KG 4. XY区域accuracy artifact:在标准测量平面QVI网格分划板或者QVI线条刻度。定义25mm工作台表面为标准测量平面。 5. Z轴 accuracy artifact: QVI step gage, interferometer or master gage blocks

Precis的应用范围包括：

半导体/电子

PCB板与Stencil

光罩

引线框，引线接合，柔性线路板，连接器

SMT元件贴装

锡膏/环氧数脂胶点

芯片载体和托盒

喷墨打印机墨盒

数据存储

磁盘介质基板

滑块和悬臂组(HGA)

Wafer carriers and row bar pallets

                精密注塑和机加工件
                模具和刀具
              医疗设备
                燃料喷射部件
              手表组件

   注塑和机加工件
               模具和刀具
               医疗设备
             燃料喷射部件
               手表组件